熱式氣體質(zhì)量流量計(jì),你了解多少?
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)通常由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(RTD)組成,
一個(gè)是速度傳感器RH(加熱器),另一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。
當(dāng)加熱器傳感器RH被通電加熱到設(shè)定溫度并保持穩(wěn)定的熱平衡時(shí),
氣體流過(guò)加熱器會(huì)帶走一部分熱量,導(dǎo)致傳感器溫度降低。
測(cè)溫器傳感器RMG位于加熱器傳感器的下游,
只測(cè)量氣體的溫度而不受氣體質(zhì)量流量的直接影響。
通過(guò)測(cè)量加熱器和測(cè)溫器之間的溫差(△T)來(lái)確定氣體質(zhì)量流量,
溫差與氣體的質(zhì)量流量呈一定的比例關(guān)系。
根據(jù)加熱器與測(cè)溫器之間的溫差以及已知的加熱器特性和氣體性質(zhì),
利用數(shù)學(xué)關(guān)系式可以計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量。
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